流程圖

加壓吸附真空解吸(簡稱VPSA)製氧設備,即穿透大氣壓的條件下,利用VPSA專用分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質,在抽真空的條件下對分子篩進行解吸,從而循環製得純度較高的氧氣(90~95%)。VPSA能耗較低,設備越大其能耗越低。